드릴 시스템: UV 레이저
레이저 빔 위치 지정:
유형: 갈바노미터 방식의 교차축
패널 크기: 533mm x 635mm
정확도: ±20 μm
최대 평균 속도: 1000 mm/s
최대 점대점 이동 속도: 250 µm에서 초당 14,000 포인트
컨트롤러: DSP 기반
유형: 교차축
모터 유형: 브러시리스 리니어 모터
유형: XY 갈바노미터
컨트롤러: 고속 맞춤형 디지털 제어
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