Bohrsysteme: UV-Laser
Laserstrahlpositionierung:
Typ: Querachse mit einem Galvanometer
Panelgröße: 533 mm x 635 mm
Genauigkeit: ±20 μm
Maximale Durchschnittsgeschwindigkeit: 1000 mm/s
Maximale Punkt-zu-Punkt-Bewegungsgeschwindigkeit: 14.000 Punkte pro Sekunde bei 250 µm
Steuerung: DSP-basiert
Typ: Querachse
Motortyp: Bürstenlose Linearmotoren
Typ: XY-Galvanometer
Steuerung: Kundenspezifische Hochgeschwindigkeits-Digitalsteuerung