Boorsystemen: UV-laser
Positie bepaling laserstraal:
Type: Dwarsas met galvanometer
Paneelgrootte: 533 mm x 635 mm
Nauwkeurigheid: ±20 μm
Maximale Gemiddelde Snelheid: 1000 mm/s
Piek Punt-Naar-Punt Verplaatsingssnelheid: 14.000 punten per seconde bij 250 µm
Besturing: DSP-gebaseerd
Type: Dwarsas
Motortype: Borstelloze Lineaire Motoren
Type: XY-galvanometer
Besturing: Snelle Aangepaste Digitale Besturing