技術パラメータ:
原産地: 中国
搬送速度: 1.0~6.0m/min (無段階周波数変換調整可能)
生産基板仕様: 610 * 610mm (最大基板) 80 * 60mm (最小基板)
生産基板厚さ: 0.2~3.2mm
搬送面幅: 700mm (有効幅 640mm)
ライン仕様: Ø30mm
走行ホイールベース: 35mm
水消費量: 8~12L/min
純水消費量: 16~24L/min
消費電力: 実際のプロセスによる
制御システム: プログラマブルPLCコントローラー (LG、日本) およびヒューマンマシンインターフェース (台湾Weilun)
特徴:
(1) ノズルはクイックディスコネクトファンノズルを採用しており、日常のメンテナンスに最も便利で、ノズルは互い違いに配置されており、作業板表面の位置を効果的に洗浄します。
(2) 特殊なホイールと千鳥配置を使用し、基板表面にホイールマークが付かないようにします。
(3) 酸化防止セクションの特殊なウォータージェット設計により、表面の水/エアフィルムを除去し、表面と穴内の反応能力を高めます。ウォータージェット設計は、1:8の深さ比の特殊なバッフルを形成して気泡を減らすことができます。タンクは容量が小さく、薬液の交換が速いです。
プロセスフロー:
ロード → 脱脂 → 洗浄 → マイクロエッチング → 洗浄 → 酸洗浄 → 洗浄 → DI洗浄 → 酸化防止 → ブラッシング → 洗浄 → DI洗浄 → 乾燥板 → 隔離 → 冷却と排出