フロープロセス: 搬入 → 薬液処理 → ポンプ洗浄 → 水洗い → 三本ブラシ研磨 → 高圧水洗浄 (18kg/cm2) → ポンプ洗浄 → DI洗浄 → 温風・冷風乾燥 → 搬出
装置寸法: 10000*1600*1850mm (L*W*H)
最大基板サイズ: 650mm x L
最小基板サイズ: 150*100mm
搬送速度: 0.5~6m/min 周波数制御
制御システム: PLC ヒューマンマシンインターフェース
電源: 380V 50Hz
エア圧: 5.5~7.0 bar
動作ビデオ:https://www.youtube.com/watch?v=WC249CLIaW8